工位承载输送系统:工位承载输送系统用于承载和输送硅片。该系统通常配备有多个工位,能够同时处理多个硅片,提高设备的加工效率和产能。
激光开槽图形编辑软件系统:该软件系统用于编辑和生成激光开槽的图形数据。通过该软件,操作者可以方便地创建和编辑各种开槽图形,以满足不同的生产需求。
设备基座及配套结构:设备基座及配套结构用于支撑和固定整个设备。该部分通常采用高质量材料制成,具有足够的稳定性和耐久性,确保设备在长时间运行中保持精度和稳定性。 安全光闸:当安全门打开时,光路安全光闸关闭,激光无法到达加工台面。广东背面选择性开槽定制
激光器
激光器采用2台海目星自主研发,具有自主知识产权的纳秒绿光激光器,工艺参数表如下:
波长:532nm
激光器功率:>30W
重复频率:300kHz-10MHz
脉冲能量稳定性:≤2%RMS
脉冲宽度:<10ps
光斑形状:圆形
线宽:20~50um图形重复精度:≤±15um
扫描速度:Max:50m/s
海目星激光器以其突出的性能和稳定的输出为各种材料加工和精密制造领域提供了强有力的支持。无论是高功率、高重复频率、高稳定性还是高速扫描,海目星激光器都能满足各种苛刻的加工需求,为现代工业生产提供高效、高质量的解决方案。 江苏背面选择性激光开槽生产企业安全门:设备装有激光防护安全观察窗,并装有安全门保护开关。
4.操作方便:设备的人机界面友好,操作简单直观,降低了操作难度,减少了培训成本。此外,设备还配备了安全保护功能,确保操作人员的安全。
5.空间布局紧凑:设备的空间布局经过精心设计,结构紧凑,占地面积小。这种设计可以节省空间,使设备在有限的生产区域内发挥更好的效能。
6.满足AGV对接需求:设备能满足AGV(自动导引车)双层双线同步上/下料的需求。这减少了AGV对接的需求以及机台的数量,进一步提高了生产效率和节省了成本。
主机
整个主机负责花篮的输送、横移、升降,硅片的输送、缓存、上下料、CCD定位、激光开槽等。
1)花篮升降横移模组升降模组:由带刹车装置的伺服电机配合螺纹丝杆,带动花篮上下运动,刹车装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组:由电机驱动同步带,带动花篮横向移动。
2)硅片输送模组硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。
3)对中校正机构由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动,用来导正硅片的位置,保证其位置精度。
4)硅片缓存机构由带锁紧装置的丝杠电机构成,可缓存30片硅片。
5)硅片搬运上下料模组模组采用真空吸盘,可快速移动抓取硅片来满足高产能的需求;抓取吸盘采用太阳能电池片特制吸盘,可有效降低碎片率和减少对硅片的污染。 采用双轨设置,配置两个单独的激光器标记系统,使其能够高效地完成大量生产任务。
7.定制化激光开槽:根据客户的具体需求,设备可以实现无损、高产能、高精度、高效率的激光开槽。这增强了设备的适应性和灵活性,满足了不同客户对硅片加工的特殊要求。
8.精密视觉定位:通过高速的精密视觉定位系统,设备能够迅速捕捉硅片的准确位置,确保激光开槽的精确性和一致性。
9.高速柔性机构传输:设备采用高速柔性机构传输系统,能够在短时间内快速完成硅片的传输任务,确保生产的高效性。
10.低碎片率:通过先进的工艺和技术手段,设备的碎片率低于0.02%,保证了硅片的完整性和生产质量。
11.自动识别与检测功能:设备具备破片自动识别和激光能量实时检测功能。这些功能增强了设备的智能化程度,确保了生产的稳定性和安全性。
12.自动传输系统:在整个加工过程中,硅片能够自动传输,无需人工干预,大幅度提高了生产效率和降低了人工成本。 5) 设备试生产运行期间,负责培训贵司指定机电维修人员,培训包括设备操作维护, 一般常见故障的分析和处理。广东背面选择性开槽定制
激光器采用 2 台海目星自主研发,具有自主知识产权的纳秒绿光激光器。广东背面选择性开槽定制
除尘机:硅片加工过程中容易产生粉尘,为了确保设备的正常运行和延长设备寿命,除尘机是必不可少的组成部分。除尘机主要负责收集和清理加工过程中产生的粉尘,保持设备内部的清洁。这有助于减少故障和维护成本,提高设备的稳定性和可靠性。
激光器系统:激光器系统是激光主机的重要组件,负责产生高能激光束。该系统通常包含激光器、电源和控制单元等部件。激光器产生激光束,电源为其提供能量,而控制单元则调节激光器的运行参数,确保激光束的质量和稳定性。 广东背面选择性开槽定制
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