设备安全防护
安全门:设备装有激光防护安全观察窗,并装有安全门保护开关。当安全门保护开关打开时,设备立即停止动作处于暂停状态,激光器处于关闭状态;当安全门保护开关关闭时,设备处于正常生产运行状态。
急停开关:当设备出现故障时,可按急停按钮,设备停止运行。
安全光闸:当安全门打开时,光路安全光闸关闭,激光无法到达加工台面。
安全光栅:与安全门一起组成双安全门控制,进一步提高设备安全等级。
所有电器、配电箱及控制箱的设计安装,符合国家电器技术的安全标准,所有机械安装符合国家有关规定的要求和精度等级。
设备主体支架有良好的紧固性,不会因为使用时间长或是碰撞导致设备松动。
电器装置及电线线缆布局合理规范、具有清晰的标识标记,各个线端上有标注线号并加套管,其电气控制系统具有良好的接地保护、短路、断路、漏电保护功能,并符合GB6829-2008《剩余电流动作保护电器的一般要求》、GB50169-2006《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》、GB50168-2006《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》等标准的相关要求。
开槽完成后,硅片通过下料输送皮带输送至下料花篮。山西背面选择性开槽
设备运行环境供电电压:AC380V/±10%
频率:50Hz
电流:60A
温度:18-25℃
相对湿度:40-60%
厂务需求:洁净压缩空气,压力>0.7Mpa;排气系统流量>500m³/h
环境洁净度:优于10万级,设备附近无酸碱腐蚀性气体
重量:2800kg
设备安全防护
安全门:设备装有激光防护安全观察窗,并装有安全门保护开关。当安全门保护开关打开时,设备立即停止动作处于暂停状态,激光器处于关闭状态;当安全门保护开关关闭时,设备处于正常生产运行状态。
急停开关:当设备出现故障时,可按急停按钮,设备停止运行。
安全光闸:当安全门打开时,光路安全光闸关闭,激光无法到达加工台面。
安全光栅:与安全门一起组成双安全门控制,进一步提高设备安全等级。
所有电器、配电箱及控制箱的设计安装,符合国家电器技术的安全标准,所有机械安装符合国家有关规定的要求和精度等级。
设备主体支架有良好的紧固性,不会因为使用时间长或是碰撞导致设备松动。
山西背面选择性开槽具有声光三色报警指示灯,急停按钮。
运行模式:离线
离线模式意味着设备在非生产时段进行预热和调试,当生产时段开始时,设备已经处于更好状态,能够立即进行高效率的生产。这种模式有助于减少设备停机时间,提高整体生产效率。
激光器配置:两台 532nm 绿光激光器
532nm的绿光激光器在硅片加工中具有广泛的应用。这种激光器具有较高的功率密度,能够在短时间内完成切割或打标操作。两台激光器的配置能够提高设备的加工速度和效率,进一步满足大规模生产的需求。
适用硅片尺寸(mm):166/182/210/230
该设备适用于多种尺寸的硅片,从166mm到230mm,满足了不同生产需求。这种灵活性使得设备能够适应不同的产品规格,提高了设备的利用率。
人机界面操作系统及控制程序:人机界面操作系统及控制程序是操作者与设备之间的交互界面。通过该界面,操作者可以控制设备的运行、设定参数、查看实时数据等。友好的用户界面和高效的控制程序能够提高生产效率并降低操作难度。
上下料系统:上下料系统负责硅片的自动装载和卸载。该系统通常配备有传送带、机械臂等装置,能够快速、准确地完成硅片的传输,确保生产流程的连续性。
高速振镜扫描系统:高速振镜扫描系统用于控制激光束的高速扫描。该系统通过高速振镜的反射,实现激光束的快速移动和定位,提高加工速度和精度。 此设备支持自动上下料系统,可满足客户现场 AGV 系统对接要求,花篮从 AGV 自动上 料至激光设备的上料输送皮带。
硅片输送模组在生产线上起到了关键作用。随着技术的进步,传统的输送方式已逐渐被更为先进的皮带输送装置所取代。这种装置不仅能平稳轻柔地将硅片从一处输送到另一处,还在很大程度上减少了因输送造成的硅片损坏或表面划痕。这不仅提高了生产效率,还有助于提升硅片的成品质量。
对中校正机构的设计体现了制造工艺的严谨性。通过同步带带动两侧滚轮同时向中间运动的原理,硅片的位置得到了精确的校正。这种校正方式不仅简化了操作流程,还显著提高了生产过程的自动化程度。从长远角度来看,对中校正机构的应用对于保持产品质量的稳定性具有重要意义。
由带锁紧装置的丝杠电机构成,可缓存 30 片硅片。山西背面选择性开槽
6) 上下料系统;7) 高速振镜扫描系统;山西背面选择性开槽
这台设备的特点丰富多样,以下是对这些特点的详细解释:
1.工业PC控制:采用工业PC作为主控制器,确保了设备的稳定性和可靠性。工业PC具有强大的数据处理能力和多种外设接口,可以满足各种复杂的控制需求。
2.模块化柔性化编程设计:设备的软件系统采用模块化设计,方便后期维护和功能扩展。同时,软件具备柔性化特点,可以根据客户需求进行快速定制,满足不同生产线的特殊需求。
3.双线供上/下料:设备实现了双线供料系统,可以同时处理两片硅片,提高了生产效率。这种设计减少了单线供料带来的停顿和等待时间,确保了生产的连续性和高效性。 山西背面选择性开槽
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