4.定制化的激光开槽与高精度:根据客户需求定制:确保了设备的适用性和针对性。无损、高产能、高精度、高效率的激光开槽:满足了客户对硅片加工的高要求。
5.精密视觉定位与高速柔性机构传输:精密视觉定位:确保了硅片的精确位置。高速柔性机构传输:不仅保证了传输的速度,还确保了硅片的稳定性和安全性。低碎片率与实时检测功能:碎片率低于0.02%:
6.极低的碎片率确保了硅片的品质和效率。破片自动识别和激光能量实时检测功能:不仅有助于识别破片,还确保了激光过程的稳定性和安全性。
7.自动传输与自动化程度高:在整个加工过程中,硅片能够实现自动传输,大幅度减少了人工干预和提高了生产效率。 上层高度 1300mm,下 层高度 450mm,双线中心距 400mm。青海背面钝化层开槽推荐厂家
此系统的一个重要特点是能够满足AGV(自动导引车)双层双线同步进出料的需求。AGV在现代化生产线上扮演着重要的角色,它能够自主导航,自动完成物料的运输和配送。通过与AGV的对接,自动上下料系统能够实现物料的高效传输,减少了AGV对接的需求,从而减少了所需的AGV机台数量。这不仅能够降低设备成本,还能提高整个生产线的运行效率。
该系统还设计得非常灵活,能够实现单线供料系统的单独运行。这意味着当一侧出现异常情况时,另一侧的供料系统仍然可以正常工作,不会影响到 AGV 的对接运行。这种设计大幅度增强了系统的稳定性和可靠性,使得生产线能够在各种情况下保持稳定运行。 广东激光开槽设备厂家5) 人机界面操作系统及控制程序;
光斑形状为圆形,这有助于实现均匀的能量分布和更好的聚焦效果。圆形光斑在各种材料加工中都能提供均匀的能量密度,避免了因能量不均而引起的热损伤和加工缺陷。
线宽为20~50um,这种线宽范围使得激光器在各种应用中都能实现精细的加工效果。无论是微细切割、高精度打标还是精细图案的绘制,这种线宽都能满足各种高精度的加工需求。
图形重复精度达到≤±15um,这意味着激光器能够准确地重复绘制相同的图案和形状。这种高精度的图形重复能力使得激光器在各种微细加工和精密制造领域中都能发挥出色的性能。
扫描速度高达Max:50m/s,这意味着激光器能够在极短的时间内覆盖大面积的区域。高速扫描的激光器在实现高效、大面积的材料加工方面具有突出的优势,可以大幅度提高生产效率。
激光器
激光器采用2台海目星自主研发,具有自主知识产权的纳秒绿光激光器,工艺参数表如下:
波长:532nm
激光器功率:>30W
重复频率:300kHz-10MHz
脉冲能量稳定性:≤2%RMS
脉冲宽度:<10ps
光斑形状:圆形
线宽:20~50um图形重复精度:≤±15um
扫描速度:Max:50m/s
海目星激光器以其突出的性能和稳定的输出为各种材料加工和精密制造领域提供了强有力的支持。无论是高功率、高重复频率、高稳定性还是高速扫描,海目星激光器都能满足各种苛刻的加工需求,为现代工业生产提供高效、高质量的解决方案。 安全光栅:与安全门一起组成双安全门控制,进一步提高设备安全等级。
此设备支持自动上下料系统,这无疑大幅度提升了生产效率并降低了人工干预的风险。自动上下料系统与AGV(自动导引车)系统对接,形成了一个无缝的生产线。
当AGV系统将装有硅片的花篮送到设备的上料输送皮带上时,设备会自动识别并从花篮中取出硅片。这一过程不仅快速,而且准确,大幅度减少了人为操作的误差和延误。接下来,硅片被直接输送到后端的激光开槽工位,准备进行精密的加工。
在激光开槽工位,硅片经过CCD(电荷耦合器件)视觉定位系统进行精确的定位。CCD视觉定位系统具有高精度和高速度的特点,能够迅速捕捉到硅片的每一个细节,确保激光开槽的准确性。 4)工厂现场培训:设备安装后,为客户培训操作员工、维修工程师等,涉及设备原理、结构、操作及维护知识。浙江激光开槽设备厂商
急停开关:当设备出现故障时,可按急停按钮,设备停止运行。青海背面钝化层开槽推荐厂家
这台设备的特点丰富多样,以下是对这些特点的详细解释:
1.工业PC控制:采用工业PC作为主控制器,确保了设备的稳定性和可靠性。工业PC具有强大的数据处理能力和多种外设接口,可以满足各种复杂的控制需求。
2.模块化柔性化编程设计:设备的软件系统采用模块化设计,方便后期维护和功能扩展。同时,软件具备柔性化特点,可以根据客户需求进行快速定制,满足不同生产线的特殊需求。
3.双线供上/下料:设备实现了双线供料系统,可以同时处理两片硅片,提高了生产效率。这种设计减少了单线供料带来的停顿和等待时间,确保了生产的连续性和高效性。 青海背面钝化层开槽推荐厂家
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