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Ｘ射线荧光分析方法在地质勘查行业得到重视和应用。主要是因为野外工作环境比较恶劣，需要一种轻便、机动而又能及时取得元素成分和含量数据的手段。用便携式Ｘ射线荧光仪，在野外一般不需要特别加工样品就能直接对岩矿石露头、探槽、浅井、剥土、采矿工作面、刻槽样品、钻孔岩矿心等地质工程取样点直接测量目标元素的Ｘ射线荧光强度，对目标元素进行定性、定量或半定量分析，从而及时发现矿体和验证异常，评定岩矿品位、矿化地段、划分矿化异常与非异常的界线、划分矿与非矿的界线，为地质找矿和矿产资源评价提供有力的资料。
X射线荧光的物理原理
当材料暴露在短波长X光检查，或伽马射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补遗留下来的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是相等两个轨道的能量差异的。因此，物质放射出的辐射，这是原子的能量特性。
X射线荧光光谱法在化学分析
主要使用X射线束激发荧光辐射，***次是在1928年由格洛克尔和施雷伯提出的。到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，**轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。
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